半导体蚀刻酸洗PFA花篮高纯特氟龙晶圆盒本底低

PFA花篮

PFA花篮PFA wafer Cassette 又名 清洗花蓝 ，铁氟龙卡匣 ， 铁氟龙晶舟盒 ，铁氟龙晶圆盒为承载半导体晶圆片/硅片的容器，耐酸耐碱耐腐蚀强酸、强氟酸、强碱，能做激光雕刻，能够安装RF1D。
保持载体和物料的跟踪。

主要用于半导体蚀刻部门之酸碱制程中使用、传送晶圆。
我司PFA花篮，进入化学酸、碱蚀刻制程中，可搭配PFA把手使用。


2、参数
名称 规格 耐温性 应用

PFA花篮
PP Cassette
2寸 200~260℃ 酸碱传输制程
4寸
6寸
3、特点
1.耐腐蚀：耐受强酸强碱
2.搭配可活动把手，用于晶圆芯片清洗运输
3.耐高低温：200~260℃
4.耐绝缘：介电性能与温度、频率无关；
5.防污染：本底值低，金属元素铅铀含量小于0.01ppb；
6.低的溶出和析出，确保晶圆芯片无污染

7.化学性能稳定
公司拥有3十多年PFA制品生产加工经验，公司投入大量人力、物力致力于太阳能光伏相关产品的研发，截止目前，公司推出的光伏用太阳能硅片花篮，太阳能硅片承载器,硅片花蓝,,半导体清洗花篮