四探针电阻率测试仪

4端测试法是目前较先进之测试方法，主要针对高精度要求之产品测试；本仪器广泛用于生产企业、高等院校、科研部门，是检验和分析导体材料和半导体材料质量的1种重要的工具。


国际标准分类中，4探针法涉及到半导体材料、金属材料试验、绝缘流体、兽医学、复合增强材料、电工器件、无损检测、集成电路、微电子学、土质、土壤学、水质、电子显示器件、有色金属。


在中国标准分类中，4探针法涉及到半金属与半导体材料综合、金属物理性能试验方法、、、电工合金0件、特种陶瓷、质谱仪、液谱仪、能谱仪及其联用装置、电阻器、半导体集成电路、工程地质、水文地质勘察与岩土工程、水环境有毒害物质分析方法、电工材料和通用0件综合、半金属、元素半导体材料、金属无损检验方法。

GB/T （此处数字已屏蔽） 硅片电阻率测定 扩展电阻探针法
GB/T （此处数字已屏蔽） 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定.直排4探针法
GB/T （此处数字已屏蔽） 硅、锗单晶电阻率测定 直流两探针法
GB/T （此处数字已屏蔽） 硅片电阻率测定 扩展电阻探针法
GB/T （此处数字已屏蔽） 硅、锗单晶电阻率测定直排4探针法

本仪器配置各类测量装置可以测试不同材料之电导率。
液晶显示，无需人工计算，并带有温度补偿功能，电导率单位自动选择，BEST300C 材料电导率测试仪自动测量并根据测试结果自动换量程，无需人工多次和重复设置。
选配：配备软件可以由电脑操控，并保存和打印数据，自动生成图表和报表。


本仪器采用4.3吋大液晶屏幕显示，同时显示电阻值、电阻率、方阻、电导率值、温度、压强值、单位自动换算，配置不同的测试治具可以满足不同材料的测试要求。
测试治具可以根据产品及测试项目要求选购.

提供中文或英文两种语言操作界面选择，满足国内及国外客户需求

电阻测量范围：
电阻率： 1×106～2×106Ω.cm、
电阻：1×105～2×105Ω
电导率：5×106～1×108ms/cm
分辨率： 醉小1μΩ
测量误差±5%
测量电压量程：2mV 20mV 200mV2V
测量精度±0.1%读数
分辨率： 0.1uV 1uV 10uV 100uV
电流输出：直流电流0～1000mA连续可调，由交流电源供电。

量程：1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，1000mA,
误差：±0.2%读数±2字
主机外形尺寸：330mm340mm120mm
显示方式：液晶显示
电源：220±10% 50HZ/60HZ
标配：测试平台1套、主机1套、电源线数据线1套。

范围本标准规定了硅片电阻率的扩展电阻探针测量方法。

本标准适用于侧量晶体晶向与导电类型已知的硅片的电阻率和测量材底同型或反型的硅片外延层的电阻率，测量范围，10 n·cm～10' Ω·cm。

规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。
凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单不包括勘误的内容或修订版均不适用于本标准，然而，敷励根据本标准达成协议的各方研究是香可使用这些文件的最新服本。
凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。

CB/T1550 非本征率导体材料导电类型测试方法 GB/T 1552 硅、储单晶电阻率测定 直排4探针法
GB/T 1555 半导体单晶晶向测定方法
GB/T 14847 重掺杂衬底上轻掺杂建外延层厚度的红外反射测显方法
方法原到扩展电阻法是1种实验比较法。